Ätzen und Strukturieren der Wafer

Ätzen und Strukturieren der Wafer

Die Oberfläche von Wafern, die aus Stäben gesägt werden, haben an Ihrer Oberfläche dadurch entstandene Schäden und Verunreinigungen. Da sie unerwünscht sind, wird diese Oberfläche meist nass-chemisch aufgeätzt.

Gleichzeitig wird mit dieser Ätzung die Oberfläche der Wafer so verändert, dass sie vergrößert und die Licht-Refektion vermindert wird. Der Wirkungsgrad einer Solarzelle kann damit um 0,5% gesteigert werden.
Deshalb werden auch nicht gesägte Wafer geätzt. Solarzellen, die geätzt wurden, wirken dunkler und bei polykristallinem Material auch homogener.